Proceedings of the Symposium on Multilevel Metallization, Interconnection, and Contact Technologies
書誌事項
- タイトル
- "Proceedings of the Symposium on Multilevel Metallization, Interconnection, and Contact Technologies"
- 責任表示
- edited by L. B. Rothman, T. Herndon
- 出版者
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- Electrochemical Society, Inc.
- 出版年月
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- c1987
- 書籍サイズ
- 23 cm
- タイトル別名
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- Multilevel metallization, interconnection, and contact technologies
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注記
Includes bibliographical references and indexes
"... Oct. 21-22, 1986, as part of the 169th meeting of the Electrochemical Society held in San Diego" -- on pref
"Dielectrics and Insulation and Electronics Divisions"
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282272699486080
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- NII書誌ID
- BA84938747
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- LCCN
- 87080539
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/87080539
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, NJ
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- 分類
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- LCC: TK7874
- DC19: 621.381/73
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- データソース種別
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- CiNii Books
