Reduced thermal processing for ULSI

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書誌事項

タイトル
"Reduced thermal processing for ULSI"
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edited by Roland A. Levy
出版者
  • Plenum Press
出版年月
  • c1989
書籍サイズ
26 cm

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注記

"Published in cooperation with NATO Scientific Affairs Division."

"Proceedings of a NATO Advanced Study Institute on Reduced Thermal Processing for ULSI, held June 20-July 1, 1988, in Boca Raton, Florida"--T.p. verso

Includes bibliographical references

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