書誌事項
- タイトル
- "Reduced thermal processing for ULSI"
- 責任表示
- edited by Roland A. Levy
- 出版者
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- Plenum Press
- 出版年月
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- c1989
- 書籍サイズ
- 26 cm
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注記
"Published in cooperation with NATO Scientific Affairs Division."
"Proceedings of a NATO Advanced Study Institute on Reduced Thermal Processing for ULSI, held June 20-July 1, 1988, in Boca Raton, Florida"--T.p. verso
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282272788833024
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- NII書誌ID
- BA10120443
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- ISBN
- 0306433826
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- LCCN
- 89023011
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/89023011
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- New York
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- データソース種別
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- CiNii Books
