SOI構造形成技術

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古川, 静二郎

Bibliographic Information

Title: "SOI構造形成技術"

Statement of Responsibility: 古川静二郎編著

Publisher

産業図書

Publication Year

1987.10

Book size: 22cm

Other Title

SOI コウゾウケイセイギジュツ

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Details 詳細情報について

CRID

1130282272829638656
NII Book ID

BN01517109
ISBN

4782856253
Text Lang

ja
Country Code

ja
Title Language Code

ja
Place of Publication
- 東京
Classification
- NDC8: 549.7
- NDC7: 549.8
Subject
- BSH: 集積回路
- NDLSH: 半導体
- NDLSH: シリコン(半導体)
Data Source
- CiNii Books

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