はじめての半導体リソグラフィ技術

CiNii 所蔵館 82館

書誌事項

タイトル
"はじめての半導体リソグラフィ技術"
責任表示
岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
出版者
  • 工業調査会
出版年月
  • 2003.6
書籍サイズ
21cm
タイトル別名
  • ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ

この図書・雑誌をさがす

関連図書・雑誌

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282272870755968
  • NII書誌ID
    BA62674459
  • ISBN
    4769312245
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • 東京
  • 分類
  • 件名
  • データソース種別
    • CiNii Books
ページトップへ