Doping engineering for front-end processing : symposium held March 25-27, 2008, San Francisco, California, U.S.A.

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書誌事項

タイトル
"Doping engineering for front-end processing : symposium held March 25-27, 2008, San Francisco, California, U.S.A."
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editors, B.J. Pawlak ... [et al.]
出版者
  • Materials Research Society
出版年月
  • c2008
書籍サイズ
24 cm

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注記

"This volume contains papers presented at Symposium E, 'Doping engineering for front-end processing' held March 25-27 at the 2008 MRS Spring Meeting in San Francisco, California."--Pref.

Includes bibliographical references and indexes

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282272899946112
  • NII書誌ID
    BA88653487
  • ISBN
    9781605110400
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Warrendale, Pa.
  • データソース種別
    • CiNii Books
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