Resists in microlithography and printing

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書誌事項

タイトル
"Resists in microlithography and printing"
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Bohumil Bednář, Jaroslav Králíček, and Jaromír Zachoval ; with contributions by Andrey V. Yelcov and Tatyana A. Yurre
出版者
  • Elsevier
  • 2nd rev. ed
出版年月
  • 1993
書籍サイズ
25 cm
タイトル別名
  • Litografické techniky
統一タイトル
  • Litografické techniky

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注記

Translation of: Litografické techniky

Includes bibliographical references and index

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