極限微細集積回路作製のための原子層成長制御CVD装置の開発研究

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Bibliographic Information

Title
"極限微細集積回路作製のための原子層成長制御CVD装置の開発研究"
Statement of Responsibility
研究代表者 室田淳一
Publisher
  • [室田淳一]
Publication Year
  • 1995.3
Book size
30cm
Other Title
  • キョクゲン ビサイ シュウセキ カイロ サクセイ ノタメノ ゲンシソウ セイチョウ セイギョ CVD ソウチ ノ カイハツ ケンキュウ

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Notes

課題番号: 04555064

平成4年度～平成6年度科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130282272978652672
  • NII Book ID
    BB12779860
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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