極限微細集積回路作製のための原子層成長制御CVD装置の開発研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "極限微細集積回路作製のための原子層成長制御CVD装置の開発研究"
- 責任表示
- 研究代表者 室田淳一
- 出版者
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- [室田淳一]
- 出版年月
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- 1995.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- キョクゲン ビサイ シュウセキ カイロ サクセイ ノタメノ ゲンシソウ セイチョウ セイギョ CVD ソウチ ノ カイハツ ケンキュウ
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注記
課題番号: 04555064
平成4年度～平成6年度科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282272978652672
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- NII書誌ID
- BB12779860
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books