Handbook of chemical vapor deposition (CVD) : principles, technology, and applications

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書誌事項

タイトル
"Handbook of chemical vapor deposition (CVD) : principles, technology, and applications"
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by Hugh O. Pierson
出版者
  • Noyes Publications
出版年月
  • c1992
書籍サイズ
25 cm
タイトル別名
  • Chemical vapor deposition

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注記

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