超薄膜SiヘテロエピタキシャルSOI構造の形成と薄膜トランジスタへの応用
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "超薄膜SiヘテロエピタキシャルSOI構造の形成と薄膜トランジスタへの応用"
- 責任表示
- 研究代表者 中村哲郎
- 出版者
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- 中村哲郎
- 出版年月
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- 1991.3
- 書籍サイズ
- 26cm
- タイトル別名
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- チョウハクマク Si ヘテロエピタキシャル SOI コウゾウ ノ ケイセイ ト ハクマク トランジスタ エノ オウヨウ
- 平成元年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書
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注記
研究課題番号: 01460140
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282273086475776
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- NII書誌ID
- BA64069259
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [豊橋]
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- 分類
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- NDC8: 549.8
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- データソース種別
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- CiNii Books