光学超薄膜を用いた軟X線干渉計測法の開発と精密結像鏡の反射波面計測制御への応用
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "光学超薄膜を用いた軟X線干渉計測法の開発と精密結像鏡の反射波面計測制御への応用"
- 責任表示
- 研究代表者 山本正樹
- 出版者
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- [山本正樹]
- 出版年月
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- 2002.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- コウガク チョウハクマク オ モチイタ ナンXセン カンショウ ケイソクホウ ノ カイハツ ト セイミツ ケツゾウキョウ ノ ハンシャ ハメン ケイソク セイギョ ヘ ノ オウヨウ
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注記
研究分担者: 羽多野忠, 柳原美廣
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282273195251200
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- NII書誌ID
- BB06284728
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books
