Gettering and defect engineering in semiconductor technology : GADEST 2003 : proceedings of the 10th International Autumn Meeting, Seehotel Zeuthen (suburb of Berlin) State of Brandenburg, Germany, September 21-26, 2003

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書誌事項

タイトル
"Gettering and defect engineering in semiconductor technology : GADEST 2003 : proceedings of the 10th International Autumn Meeting, Seehotel Zeuthen (suburb of Berlin) State of Brandenburg, Germany, September 21-26, 2003"
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edited by H. Richter and M. Kittler
出版者
  • Scitec Publications
出版年月
  • c2004
書籍サイズ
25 cm

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注記

Includes bibliographical references and index

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130282273283619712
  • NII書誌ID
    BB16175274
  • ISBN
    9783908450825
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    sz
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Uetikon-Zurich, Switzerland
  • データソース種別
    • CiNii Books
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