Gettering and defect engineering in semiconductor technology : GADEST 2003 : proceedings of the 10th International Autumn Meeting, Seehotel Zeuthen (suburb of Berlin) State of Brandenburg, Germany, September 21-26, 2003
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書誌事項
- タイトル
- "Gettering and defect engineering in semiconductor technology : GADEST 2003 : proceedings of the 10th International Autumn Meeting, Seehotel Zeuthen (suburb of Berlin) State of Brandenburg, Germany, September 21-26, 2003"
- 責任表示
- edited by H. Richter and M. Kittler
- 出版者
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- Scitec Publications
- 出版年月
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- c2004
- 書籍サイズ
- 25 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282273283619712
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- NII書誌ID
- BB16175274
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- ISBN
- 9783908450825
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- sz
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Uetikon-Zurich, Switzerland
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- データソース種別
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- CiNii Books