Deposition and growth : limits for microelectronics, Anaheim, CA 1987

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書誌事項

タイトル
"Deposition and growth : limits for microelectronics, Anaheim, CA 1987"
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editor, G.W. Rubloff
出版者
  • American Institute of Physics
出版年月
  • 1988
書籍サイズ
25 cm

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注記

DOE CONF-8711124

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