レーザ照射による超微粒子の回転運動を利用した超精密微細加工技術に関する研究
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "レーザ照射による超微粒子の回転運動を利用した超精密微細加工技術に関する研究"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 池野順一
- Publisher
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- 池野順一
- Publication Year
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- 1996.3
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- レーザ ショウシャ ニ ヨル チョウビリュウシ ノ カイテン ウンドウ オ リヨウ シタ チョウセイミツ ビサイ カコウ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
- 平成7年度科学研究費補助金(試験研究(B))研究成果報告書
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Notes
出版事項等は表紙より
研究課題番号: 06555033
研究分担者: 谷泰弘, 澤木大輔
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130282273346032256
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- NII Book ID
- BN15759988
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- Text Lang
- ja
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [豊橋]
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- Classification
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- NDC9: 532
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- Data Source
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- CiNii Books