レーザ照射による超微粒子の回転運動を利用した超精密微細加工技術に関する研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "レーザ照射による超微粒子の回転運動を利用した超精密微細加工技術に関する研究"
- 責任表示
- 研究代表者 池野順一
- 出版者
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- 池野順一
- 出版年月
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- 1996.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- レーザ ショウシャ ニ ヨル チョウビリュウシ ノ カイテン ウンドウ オ リヨウ シタ チョウセイミツ ビサイ カコウ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
- 平成7年度科学研究費補助金(試験研究(B))研究成果報告書
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注記
出版事項等は表紙より
研究課題番号: 06555033
研究分担者: 谷泰弘, 澤木大輔
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130282273346032256
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- NII書誌ID
- BN15759988
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [豊橋]
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- 分類
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- NDC9: 532
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- データソース種別
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- CiNii Books
