CVD法によるAINエピタキシャル成長膜及びその応用デバイスに関する研究
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書誌事項
- タイトル
- "CVD法によるAINエピタキシャル成長膜及びその応用デバイスに関する研究"
- 責任表示
- 坪内和夫研究代表者
- 出版者
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- [坪内和夫]
- 出版年月
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- 1982.3
- 書籍サイズ
- 26cm
- タイトル別名
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- CVD ホウ ニヨル AIN エピタキシャルセイチョウマク オヨビ ソノ オウヨウ デバイス ニカンスル ケンキュウ
- 昭和56年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書 : 課題番号00585097
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130296796585959683
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- NII書誌ID
- BD02875953
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books