温度振動法によるシリコン気相成長の研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "温度振動法によるシリコン気相成長の研究"
- 責任表示
- 大見忠弘研究代表者
- 出版者
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- [大見忠弘]
- 出版年月
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- 1983.3
- 書籍サイズ
- 26cm
- タイトル別名
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- オンド シンドウ ホウ ニヨル シリコン キソウ セイチョウ ノ ケンキュウ
- 昭和57年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書 : 課題番号56460100
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130296796585960477
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- NII書誌ID
- BD02872809
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books