Advances in chemical mechanical planarization (CMP)
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書誌事項
- タイトル
- "Advances in chemical mechanical planarization (CMP)"
- 責任表示
- Edited by Suryadevara Babu
- 出版者
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- Woodhead Pub. is an imprint of Elsevier
- 2nd ed
- 出版年月
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- c2022
- 書籍サイズ
- 23 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130572001036334251
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- NII書誌ID
- BC11630144
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- ISBN
- 9780128217917
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- uk
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Duxford
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- 分類
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- DC23: 621.38152
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- 件名
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- データソース種別
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- CiNii Books