電子波干渉型真空マイクロエレクトロニクス素子の試作研究

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書誌事項

タイトル
"電子波干渉型真空マイクロエレクトロニクス素子の試作研究"
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研究代表者 浅野種正
出版者
  • [九州工業大学マイクロ総合技術センター]
出版年月
  • 1995.3
書籍サイズ
26cm
タイトル別名
  • デンシハ カンショウガタ シンクウ マイクロ エレクトロニクス ソシ ノ シサク ケンキュウ
  • 平成6年度科学研究費補助金(試験研究(B))研究成果報告書

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注記

課題番号: 05555010

研究分担者: 比嘉勝也, 青木誠志, 牧平憲治

文献: 各論末

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130575949897299200
  • NII書誌ID
    BC18839350
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [飯塚]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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