極端紫外(EUV)光源開発等の先進半導体製造技術の実用化研究成果報告書

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Bibliographic Information

Title
"極端紫外(EUV)光源開発等の先進半導体製造技術の実用化研究成果報告書"
Publisher
  • [大阪大学レーザーエネルギー学研究センター]
Publication Year
  • [2008.3]
Book size
30cm
Other Title
  • キョクタン シガイ (EUV) コウゲン カイハツトウ ノ センシン ハンドウタイ セイゾウ ギジュツ ノ ジツヨウカ ケンキュウ セイカ ホウコクショ
  • 極端紫外EUV光源開発等の先進半導体製造技術の実用化

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Notes

タイトルと出版事項は表紙による

文部科学省の委託業務として大阪大学が実施した「極端紫外(EUV)光源開発等の先進半導体製造技術の実用化」の成果をとりまとめたもの

参考文献あり

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130864315061776706
  • NII Book ID
    BD08320601
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [大阪]
  • Data Source
    • CiNii Books
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