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High-resolution non-destructive three-dimensional imaging of integrated circuits
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Web Site
被引用文献5件
Mirko Holler
Manuel Guizar-Sicairos
Esther H. R. Tsai
Roberto Dinapoli
Elisabeth Müller
Oliver Bunk
Jörg Raabe
Gabriel Aeppli
収録刊行物
Nature
Nature 543 (7645), 402-406, 2017-03
Springer Science and Business Media LLC
被引用文献 (5)
*注記
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CRID
1360292620482202368
DOI
10.1038/nature21698
ISSN
14764687
00280836
Web Site
http://www.nature.com/articles/nature21698.pdf
http://www.nature.com/articles/nature21698
データソース種別
Crossref
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