Atomic Layer Epitaxy Growth of TiN Thin Films

DOI Web Site Web Site 被引用文献6件
  • Mikko Ritala
    Department of Chemistry, University of Helsinki, FIN‐00014 Helsinki, Finland
  • Markku Leskelä
    Department of Chemistry, University of Helsinki, FIN‐00014 Helsinki, Finland
  • Eero Rauhala
    Accelerator Laboratory, University of Helsinki, FIN‐00014 Helsinki, Finland
  • Pekka Haussalo
    Accelerator Laboratory, University of Helsinki, FIN‐00014 Helsinki, Finland

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被引用文献 (6)*注記

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