Rf microplasma jet at atmospheric pressure: characterization and application to thin film processing
書誌事項
- 公開日
- 2004-05-13
- DOI
-
- 10.1088/0022-3727/37/11/005
- 公開者
- IOP Publishing
この論文をさがす
収録刊行物
-
- Journal of Physics D: Applied Physics
-
Journal of Physics D: Applied Physics 37 (11), 1537-1543, 2004-05-13
IOP Publishing
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1361137043488095488
-
- NII論文ID
- 80016728477
-
- ISSN
- 13616463
- 00223727
- http://id.crossref.org/issn/00223727
-
- データソース種別
-
- Crossref
- CiNii Articles
