An industrial and applied review of new MEMS devices features

DOI Web Site Web Site 被引用文献5件

Masako Tanaka

収録刊行物

Microelectronic Engineering

Microelectronic Engineering 84 (5-8), 1341-1344, 2007-05

Elsevier BV

被引用文献 (5)*注記

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CRID

1361137044294987136
DOI

10.1016/j.mee.2007.01.232
ISSN

01679317
Web Site

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- Crossref

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