Electrostatic model for an asymmetric combdrive

DOI PDF 被引用文献1件

収録刊行物

Journal of Microelectromechanical Systems

Journal of Microelectromechanical Systems 9 (1), 126-135, 2000-03

Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)

被引用文献 (1)*注記

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詳細情報詳細情報について

CRID

1361137046289996416
DOI

10.1109/84.825787
ISSN

19410158

10577157
Web Site

http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/84/17875/00825787.pdf?arnumber=825787
データソース種別
- Crossref

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