Electric force microscopy: Gigahertz and nanometer measurement tool

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Christoph Böhm

収録刊行物

Microelectronic Engineering

Microelectronic Engineering 31 (1-4), 171-179, 1996-02

Elsevier BV

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CRID

1361699993527607552
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10.1016/0167-9317(95)00340-1
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01679317
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