Microcrystalline thin-film solar cell deposition on moving substrates using a linear VHF-PECVD reactor and a cross-flow geometry

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書誌事項

公開日
2011-12-12
DOI
  • 10.1088/0022-3727/45/1/015101
公開者
IOP Publishing

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  • CRID
    1362262943374820736
  • DOI
    10.1088/0022-3727/45/1/015101
  • ISSN
    13616463
    00223727
    http://id.crossref.org/issn/00223727
  • データソース種別
    • Crossref

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