Vapor-Phase Deposition of Beta-Silicon Carbide on Silicon Substrates

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• CRID

  1362825893264172800

• DOI

  10.1149/1.2403387

• ISSN

  00134651

• Web Site

  https://syndication.highwire.org/content/doi/10.1149/1.2403387

• データソース種別

  • Crossref