AFM probes fabricated with masked–maskless combined anisotropic etching and p<sup>+</sup>surface doping
収録刊行物
-
- Journal of Micromechanics and Microengineering
-
Journal of Micromechanics and Microengineering 16 (2), 198-204, 2005-12-22
IOP Publishing
- Tweet
キーワード
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1362825894906240384
-
- ISSN
- 13616439
- 09601317
-
- データソース種別
-
- Crossref