<title>Ion beam and plasma jet etching for optical component fabrication</title>

DOI 被引用文献4件

書誌事項

公開日
2001-11-09
DOI
  • 10.1117/12.448043
公開者
SPIE

この論文をさがす

収録刊行物

被引用文献 (4)*注記

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1362825895191508608
  • DOI
    10.1117/12.448043
  • ISSN
    0277786X
  • データソース種別
    • Crossref

問題の指摘

ページトップへ