書誌事項
- 公開日
- 1996-09
- 権利情報
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- https://www.elsevier.com/tdm/userlicense/1.0/
- DOI
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- 10.1016/0167-9317(95)00368-1
- 公開者
- Elsevier BV
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収録刊行物
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- Microelectronic Engineering
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Microelectronic Engineering 32 (1-4), 131-142, 1996-09
Elsevier BV
