The wafer flexure technique for the determination of the transverse piezoelectric coefficient (d31) of PZT thin films

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収録刊行物

Sensors and Actuators A: Physical

Sensors and Actuators A: Physical 71 (1-2), 133-138, 1998-11

Elsevier BV

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CRID

1363107370898755840
DOI

10.1016/s0924-4247(98)00161-7
ISSN

09244247
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