A comparative study on reactive and non-reactive unbalanced magnetron sputter deposition of TiN coatings

DOI Web Site Web Site 被引用文献2件

収録刊行物

Thin Solid Films

Thin Solid Films 415 (1-2), 151-159, 2002-08

Elsevier BV

被引用文献 (2)*注記

もっと見る

詳細情報詳細情報について

CRID

1363670320182486528
DOI

10.1016/s0040-6090(02)00511-4
ISSN

00406090
Web Site

https://api.elsevier.com/content/article/PII:S0040609002005114?httpAccept=text/xml

https://api.elsevier.com/content/article/PII:S0040609002005114?httpAccept=text/plain
データソース種別
- Crossref

書き出し

問題の指摘

ページトップへ