反射高速電子線回折(RHEED)による薄膜形成過程の観察法

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タイトル別名
  • Dynamical Observation of the Thin Film Growth Processes Using Reflective High-Energy Electron Diffraction(RHEED).

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収録刊行物

  • まてりあ

    まてりあ 35 (1), 53-59, 1996

    公益社団法人 日本金属学会

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