高周波放電プラズマを利用した高速スパッタ装置

書誌事項

タイトル別名
  • High-Rate Sputtering Apparatus by use of High-Frequency Discharge Plasma
  • カイセツ コウシュウハ ホウデン プラズマ オ リヨウ シタ コウソク スパッタ ソウチ

この論文をさがす

収録刊行物

  • 真空

    真空 44 (5), 512-519, 2001

    一般社団法人 日本真空学会

参考文献 (43)*注記

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ