アモルファスシリコンの形成法と応用デバイス

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タイトル別名
  • Fabricaiton method of amorphous silicon and its application.
  • アモルファス シリコン ノ ケイセイホウ ト オウヨウ デバイス サンギョウ

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抄録

記事分類: 電気工学--電気材料・部品

収録刊行物

  • 真空

    真空 30 (12), 1037-1042, 1987

    一般社団法人 日本真空学会

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