Simulation of Magnetron Plasma
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- SHIDOJI Eiji
- Recearch Center, Asahi Glass Co., Ltd.
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- MAKABE Toshiaki
- Department of Electronics and Electrical Engineering, Keio University
Bibliographic Information
- Other Title
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- 反応性スパッタリングとターゲット マグネトロンプラズマのシミュレーション
- マグネトロンプラズマ ノ シミュレーション
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Journal
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- Shinku
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Shinku 43 (8), 767-772, 2000
The Vacuum Society of Japan
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204063537664
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- NII Article ID
- 10004562632
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- NII Book ID
- AN00119871
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- ISSN
- 18809413
- 05598516
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- NDL BIB ID
- 5476035
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
