反応性スパッタリングとターゲット  スパッタリング法による反射防止膜の形成

  • 川俣 健
    オリンパス光学工業 (株) 生産技術部

書誌事項

タイトル別名
  • Anti-Reflection Coatings by Sputtering
  • スパッタリングホウ ニ ヨル ハンシャ ボウシ マク ノ ケイセイ

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収録刊行物

  • 真空

    真空 43 (8), 773-778, 2000

    一般社団法人 日本真空学会

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参考文献 (12)*注記

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