容量結合型高周波放電における陰極表面材質の影響

  • 久保 隆
    広島国際学院大学工学部電子工学科
  • 田中 誠
    広島国際学院大学工学部電子工学科

書誌事項

タイトル別名
  • Effects of Cathode Material on Capacitive Coupling RF Plasma.
  • ヨウリョウ ケツゴウガタ コウシュウハ ホウデン ニ オケル インキョク ヒョウメン ザイシツ ノ エイキョウ

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抄録

In this paper dependence of electrode material on plasma parameter was studied. By changing the electrode material from aluminum to graphite, electron densities were measured with a self-compensated Langmuir probe in an asymmetrical parallel plate radio frequency plasma reactor. The results show that the electron densities with the aluminum cathode are greater than that with the graphite cathode.

収録刊行物

  • 真空

    真空 43 (3), 314-316, 2000

    一般社団法人 日本真空学会

参考文献 (6)*注記

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