書誌事項
- タイトル別名
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- Effects of Cathode Material on Capacitive Coupling RF Plasma.
- ヨウリョウ ケツゴウガタ コウシュウハ ホウデン ニ オケル インキョク ヒョウメン ザイシツ ノ エイキョウ
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抄録
In this paper dependence of electrode material on plasma parameter was studied. By changing the electrode material from aluminum to graphite, electron densities were measured with a self-compensated Langmuir probe in an asymmetrical parallel plate radio frequency plasma reactor. The results show that the electron densities with the aluminum cathode are greater than that with the graphite cathode.
収録刊行物
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- 真空
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真空 43 (3), 314-316, 2000
一般社団法人 日本真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204063598592
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- NII論文ID
- 10004561749
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- NII書誌ID
- AN00119871
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- ISSN
- 18809413
- 05598516
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- NDL書誌ID
- 5361466
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可