Preparation of Thin Films of Functional Materials by an Excimer Laser Ablation Technique.

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  • エキシマレーザアプレーション法を用いた機能性薄膜の作製
  • エキシマ レーザ アブレーションホウ オ モチイタ キノウセイ ハクマク ノ

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  • Shinku

    Shinku 36 (2), 81-86, 1993

    The Vacuum Society of Japan

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