Low temperature plasmas and engineering (II) - On application of low temperature plasma to electronics.

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  • ITATANI Ryohei
    Department of Electronics, Faculty of Engineering, Kyoto University

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Other Title
  • 低温プラズマと工学　ＩＩ　　電子工学の立場から
  • テイオン プラズマ ト コウガク 2 デンシ コウガク ノ タチバ カラ
  • On Application of Low Temperature Plasma to Electronics
  • 電子工学の立場から

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  • Shinku

    Shinku 28 (4), 157-167, 1985

    The Vacuum Society of Japan

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