Ion source of high current and large area by discharge plasma.

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  • 放電プラズマの大電流大面積イオン源への応用と問題点
  • ホウデン プラズマ ノ ダイ デンリュウ ダイ メンセキ イオンゲン エ ノ

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  • Shinku

    Shinku 28 (4), 222-228, 1985

    The Vacuum Society of Japan

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