放電プラズマの大電流大面積イオン源への応用と問題点

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  • Ion source of high current and large area by discharge plasma.
  • ホウデン プラズマ ノ ダイ デンリュウ ダイ メンセキ イオンゲン エ ノ

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収録刊行物

  • 真空

    真空 28 (4), 222-228, 1985

    一般社団法人 日本真空学会

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