ターボ分子ポンプ内流れのシミュレーション

  • 松井 純
    国立大学法人横浜国立大学工学研究院

書誌事項

タイトル別名
  • Simulation of Flow in the Turbo Molecular Pump
  • ターボ ブンシ ポンプ ナイ ナガレ ノ シミュレーション

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収録刊行物

  • 真空

    真空 49 (8), 476-480, 2006

    一般社団法人 日本真空学会

参考文献 (17)*注記

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