Multiple BN Delta-layers as the Reference Material forUltra-shallow Depth Profiling and Evaluation of the Sputtering Rate Variation

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  • 極浅領域の深さ方向分析用多層ＢＮデルタドープ標準物質とそれによるスパッタ速度変化の評価
  • ゴクセンリョウイキ ノ フカサ ホウコウ ブンセキヨウ タソウ BN デルタドープ ヒョウジュン ブッシツ ト ソレニ ヨル スパッタ ソクド ヘンカ ノ ヒョウカ

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  • Shinku

    Shinku 46 (11), 772-776, 2003

    The Vacuum Society of Japan

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