Experimental fabrication of a needle growing apparatus by reforming of a conventional SEM.

DOI Web Site
  • ADACHI Hiroshi
    Department of Electric and Electronic Engineering
  • SUZUKI Kazuo
    Department of Meterials Science and Engineering. Muroran Institute of Technology

Bibliographic Information

Other Title
  • ＳＥＭを利用した微小針製作装置の試作
  • SEM オ リヨウシタ ビショウバリ セイサク ソウチ ノ シサク

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Abstract

記事分類: 電気工学--電子工学--電子応用機器--電子顕微鏡

Journal

  • Shinku

    Shinku 33 (10), 813-815, 1990

    The Vacuum Society of Japan

Keywords

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