イオン注入熱酸化法によるシリカガラス中へのＺｎＯナノ粒子の形成

DOI Web Site 参考文献51件
  • 雨倉 宏
    物質・材料研究機構 量子ビームセンター
  • 岸本 直樹
    物質・材料研究機構 量子ビームセンター

書誌事項

タイトル別名
  • Fabrication of ZnO Nanoparticles in Silica Glass by Ion Implantation Combined with Thermal Oxidation
  • イオン チュウニュウ ネツ サンカホウ ニ ヨル シリカ ガラスチュウ エノ ZnO ナノ リュウシ ノ ケイセイ

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収録刊行物

  • 真空

    真空 50 (2), 128-134, 2007

    一般社団法人 日本真空学会

参考文献 (51)*注記

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