Analysis of Nano-structures on Si Surfaces Using Medium-energy Ion Scattering (MEIS) and Scanning Tunneling Microscopy (STM)

DOI Web Site 20 References
  • SUMITOMO Koji
    NTT Basic Research Laboratories, NTT Corporation
  • OMI Hiroo
    NTT Basic Research Laboratories, NTT Corporation
  • ZHANG Zhaohui
    Mesoscopic Physics National Laboratory and Department of Physics, Peking University
  • OGINO Toshio
    Graduate School of Engineering, Yokohama National University

Bibliographic Information

Other Title
  • 中速イオン散乱法（ＭＥＩＳ）と走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）による表面ナノ構造の解析
  • チュウソク イオン サンランホウ MEIS ト ソウサガタ トンネル ケンビキョウ STM ニ ヨル ヒョウメン ナノ コウゾウ ノ カイセキ

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  • Shinku

    Shinku 49 (5), 277-281, 2006

    The Vacuum Society of Japan

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